SSL meldet 'sec_error_invalid_key'

[genericfoo]

Hi,

ich habe gestern die SSL-Certs & Keys erneuert um von 1024 bit auf 16384 bit Schlüssel zu kommen (firmen vorgabe -.-).
Jedenfalls "will" Apache2 nicht mehr, jedes mal wenn einer auf die SSL-Seite will, bekommt er 'sec_error_invalid_key' gemeldet.
Ich habe den Modulus der Keys, Certs und CSRs alle getestet, sie stimmen alle überein.
Auch in der vhost-conf sind alle alten Keys und Certs raus.

Was nun?
Wo liegt mein Fehler?
Ist es einfach nur deshalb, dass Apache2 schlichtweg kein 16384 bit Schlüssel verarbeiten kann?

MfG
Generic